Oven Atmosfer Inert, uga disebut oven Anaerobik, dirancang kanggo perawatan panas nggunakake gas non-oksidasi kayata nitrogen ing lingkungan sealing, cocok kanggo perawatan panas ing atmosfer konsentrasi oksigen sing kurang.
Katrangan
Inert Atmosphere Oven seri digunakake ing manufaktur semikonduktor kanggo pretreatment baking wafer silikon, gallium arsenide, lithium niobate, kaca sadurunge PR nutupi, film hard baking sawise nutupi PR, lan baking suhu dhuwur sawise berkembang; Uga cocok kanggo departemen produksi lan riset ilmiah, kayata tampilan kristal cair elektronik, LCD, CMOS, IS lan laboratorium; uga bisa digunakake kanggo pangatusan, Processing panas, tuwa lan tes suhu dhuwur liyane non-molah malih, non-flammable lan non-mbledhos.
Parameter utama
► Parameter teknis
Kapasitas: Customized minangka saben produk
Kisaran Suhu: Ambient+50°C ~ 250°C
Kandungan oksigen: ≤50ppm
Keseragaman suhu: ± 2,5%
Ramp-up Rate: Controllable
Nitrogen Inlet: Φ8
Aliran nitrogen: 0-240L/min * 2 saluran
► Struktur
. Oven interior: Digawe saka stainless steel lan rapi gandheng karo gas argon.
. Hermetically sealed: Kamar disegel kanggo nyuda tingkat oksigen.
. Struktur intake udara: Ngidini gas non-oksidasi kanggo ngisi ruangan.
. O2 analyzer: Sabenere nyetel tingkat oksigen antarane 0.5 ~ 21%
► Sistem kontrol suhu
Pengontrol suhu JAPAN RKC cerdas, program lan setelan nilai fix, AT auto-tuning, koreksi offset, lan retensi mati.
► Konveksi udara paksa
Saluran udara sing dipatenake ing sistem sirkulasi udara panas bisa kanthi otomatis nyetel unifomity suhu.
Fitur kanggo oven anaerobik (Inert).
► Studio baja tahan karat sing disegel kanthi hermetis kanggo nyegah mlebu saka atmosfer njaba
► Gunakake gas inert nitrogen kanggo perawatan panas anaerobik
► Flow meter lan pengukur tekanan dilengkapi
► Piranti safety multi-proteksi
Pilihan
► PLC + 7" pengontrol sing bisa diprogram
► Weker lampu sumunar telung warna
► Pembatas suhu sing luwih dhuwur
► Piranti safety manual
Napa milih Oven Atmosfer Inert?
Saiki, bahan kabel ing sirkuit wis pindah saka aluminium dadi tembaga kanthi resistensi luwih murah. Mulane, nalika panas dianggep n oven pangatusan normal, bagean tembaga bisa ngoksidasi, nyebabake cacat. Kajaba iku, 250 deg C tuwa uga dileksanakake kanggo mriksa apa data ditulis ing memori lampu kilat wis dibusak amarga electromigration, lan apa bagéan bump wis oxidized, supaya isi oksigen kudu suda kanggo <100ppm. Oven anaerob iki dikembangake kanggo nyukupi kabutuhan kasebut.
Aplikasi
Oven Atmosfer Inert utamane digunakake kanggo lem BPO / lem PI / lem BCB, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, komponen elektronik kanthi tliti dhuwur lan bahan liyane ing lingkungan oksigen sing kurang kanggo tes pangatusan lan tuwa. .
